Nome:

Serie di barche al quarzo da 6 pollici

Funzione e applicazione:

Questa serie include una varietà di barche al quarzo, come barche gabbia, barche deflettrici, barche base e barche wafer standard, progettate per sostenere wafer di silicio durante processi semiconduttori ad alta temperatura come diffusione, ossidazione, deposizione CVD e pulizia dei wafer. Queste diverse forme e strutture ottimizzano il flusso del gas, l'uniformità termica e la stabilità dei wafer in un'ampia gamma di applicazioni manifatturiere e di ricerca.

Requisiti di prestazione:

Costruzione in quarzo fuso ad alta purezza con eccellente stabilità termica, resistenza alla corrosione e basso contenuto di impurità. Progettazione robusta per resistere a cicli termici ripetuti. Superfici lisce, lucidate o sabbiate per minimizzare la generazione e la contaminazione delle particelle, garantendo compatibilità con sistemi automatizzati di movimentazione dei wafer e vari tipi di fornace.