IlBarca in silice fusa a piastre curveè un portatore di wafer ad alta precisione progettato per applicazioni semiconduttrici che coinvolgono lavorazioni batch ad alta temperatura, come diffusione, ossidazione e deposizione CVD. Prodotta in silice fusa ad alta purezza, questa barca offre eccezionale stabilità termica, minima espansione termica e un'eccellente resistenza sia alla corrosione che agli shock termici.

La sua struttura a piastre piegate offre un supporto stabile al wafer e migliora un flusso uniforme di gas e il trasferimento di calore all'interno del tubo del forno. La superficie liscia e pulita minimizza la generazione di particelle, mentre l'elevata trasparenza ottica del materiale supporta l'ispezione visiva quando necessario. Progettata per un allineamento costante delle wafer e un basso rischio di contaminazione, la barca a lamiera piegata in silice fusa soddisfa i rigorosi requisiti della produzione avanzata di semiconduttori, laboratori di ricerca e linee pilota.

Perché si chiama Barca di Quarzo a Piastre Curbate?

Il termine "Barca di Quarzo a Piastre Curbate" deriva sia dal suo materiale che dalla forma del design:

Quarzo:La barca è realizzata in quarzo ad alta purezza (silice fusa), un materiale apprezzato nella produzione di semiconduttori per la sua eccellente stabilità termica, resistenza chimica e basso contenuto di impurità.

Piastra curva:A differenza delle barche piatte o tubolari, questo design presenta una piastra piegata o curva in forma d'arco. Questa struttura a lamiera curva (piegata) aiuta a migliorare la distribuzione del flusso di gas e l'uniformità termica attorno alle wafer durante la lavorazione ad alta temperatura. La curvatura consente una migliore esposizione delle wafer ai gas di processamento e una distribuzione del calore più uniforme.

Barca:Nella lavorazione dei semiconduttori, "barca" è il termine industriale per indicare un portante o un dispositivo che tiene saldamente le wafer durante la lavorazione su forno o tubo a diffusione.

Quindi, "Barco di Quarzo a Piastra Curva" significa letteralmente un portatore di wafer a base di quarzo con un design a piastra curva ottimizzato per un trattamento uniforme dei wafer nella fabbricazione di semiconduttori ad alta temperatura.